擴散硅壓力變送器采用陶瓷傳感器,再配以高精密電子元件,經(jīng)嚴格要求的工藝過(guò)程裝配而成。壓力變送器與應用的通例壓力變送器相比,有兩個(gè)技術(shù)差別:一是測量元件采用新型的高精密陶瓷材料;二是測量元件內無(wú)中介液體,是固體的。儀表在工業(yè)測量和自動(dòng)調節系統中作為檢測環(huán)節用來(lái)測量液體,氣體或蒸汽的壓力,并將被測參量轉換成標準電流信號輸出,與其他儀表配合實(shí)現現代生產(chǎn)過(guò)程中的自動(dòng)檢測和控制。
擴散硅壓力變送器產(chǎn)品特點(diǎn)介紹:
1、適合制作小量程的變送器
硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點(diǎn)附近的低量程段無(wú)死區,制作壓力傳感器的量程可小到幾個(gè)Kpa。
2、輸出靈敏度高
硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50~100倍,故相應的傳感器的靈敏度就很高。因此對接口電路無(wú)特殊要求,使用比較方便。
3、精度高
由于傳感器的感受、敏感轉換和檢測三部分由同一個(gè)元件實(shí)現,沒(méi)有中間轉換環(huán)節,重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大,變形很小,保證了良好的線(xiàn)性。
4、由于工作單性形變低至微應變數量級,彈性芯片最大位移在亞微米數量級,因而無(wú)磨損,無(wú)疲勞,無(wú)老化,壓力循環(huán),性能穩定,可靠性高。
5、由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能,即使是非隔離型的擴散硅壓力傳感器,也有相當程度的適應各種介質(zhì)的能力。
6、由于芯片采用集成工藝,又無(wú)傳動(dòng)部件,因此體積小,重量輕。