壓力傳感器是壓力變送器中將壓強轉換成電壓信號的關(guān)鍵器件。擴散硅式壓力變送器的敏感元件是擴散硅壓力傳感器,通常帶有不銹鋼隔離膜片將測量介質(zhì)與硅片隔離開(kāi)。其特點(diǎn)是輸出靈敏度較高,價(jià)格實(shí)惠。
擴散硅壓力變送器,廣泛應用于工業(yè)自動(dòng)化設備、石油、化工、冶金、電力等控制平臺,它是利用壓阻效應原理,采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴散,沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向,制成應變電阻,組成惠斯凳電橋,利用硅材料的彈性力學(xué)特性,在同一種硅材料上進(jìn)行各向異性微加工,就制成了一個(gè)集力敏與力電轉換檢驗于一體的擴散硅傳感器。在使用過(guò)程中有哪些需要咱們注意的呢?
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